小測量半徑：2µm

小測量楔角：20°

小測量粗糙度（Ra）：80nm

小測量粗糙度（Sa）：50nm

大掃描高度：25mm

大操作距離：17.5（5×物鏡）

大擴展視野范圍：2500mm2

垂直分辨率：20nm

大單一方向測量范圍：50mm

位移范圍（X/Y）:50mm×50mm(自動調節(jié))

位移范圍（Z）:130mm(26mm自動調節(jié))