形貌儀3D系統(tǒng)由臺(tái)架、控制系統(tǒng)、探頭、針尖組成。系統(tǒng)控制單元控制探頭沿樣品表面移動(dòng)，以測(cè)量形貌、粗糙度、尺寸。操作者可根據(jù)需要設(shè)定參數(shù)，如探頭移動(dòng)的步長(zhǎng)，選擇、制定自己的測(cè)試模式，以使測(cè)量長(zhǎng)度、速度、路徑、分辨率達(dá)到*化。測(cè)試系統(tǒng)的數(shù)據(jù)處理能力非常強(qiáng)，可得到多種參數(shù)，包括形貌、粗糙度、坐標(biāo)尺寸等。同時(shí)有自動(dòng)控制能力，可以和超精密微加工、微組裝系統(tǒng)組合，如為微加工系統(tǒng)提供在線檢測(cè)，以隨時(shí)控制加工質(zhì)量。

　　3D形貌儀的啟動(dòng)四步驟說(shuō)明：

　　步驟1

　　先啟動(dòng)計(jì)算機(jī)，然后開(kāi)啟儀器。使用原廠默認(rèn)密碼登錄系統(tǒng)。

　　步驟2

　　約30s后，雙擊桌面上的3D圖標(biāo)，打開(kāi)測(cè)試軟件。

　　步驟3

　　使用用戶名、密碼登錄測(cè)試軟件。出廠時(shí)的默認(rèn)用戶名和密碼參考說(shuō)明書，參照說(shuō)明書獲取用戶設(shè)置的更多信息。

　　步驟4

　　點(diǎn)擊OK，初始化Z軸。接著點(diǎn)擊OK，初始化XY載臺(tái)。

　　注意：Z軸和XY載臺(tái)即將移動(dòng)，請(qǐng)確認(rèn)沒(méi)有任何物體阻礙它們的運(yùn)動(dòng)路徑。請(qǐng)勿用手觸碰移動(dòng)部件。